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立式球面激光干涉儀


如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 立式球面激光干涉儀
產品型號: VT750 / VT1000 / VT1200
產品展商: 德國XONOX公司
簡單介紹
立式球面激光干涉儀VT750 / VT1000 / VT1200是德國XONOX公司生產的4或6英寸球面激光干涉儀,采用立式測量結構,更適合于車間現場測量使用。

立式球面激光干涉儀

的詳細介紹

XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點:

---高精密氣浮隔震系統,適合于光學加工車間現場檢測
---采用氣浮垂直移動導軌,移動快速準確,*大移動范圍1200mm,直線度可達3um
---可選裝經濟型的4寸干涉儀主機,配置靜態光圈測量分析軟件,代替傳統的樣本檢測,方便快捷,DIN或ISO測量結果顯示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機,ZYGO專業測量分析軟件,適合更**用戶使用。
---配置線性光柵尺,曲率半徑測量精度+/-3um;小曲率半徑測量裝置可選,測量精度+/-1um(+/-60mm測量范圍)
---配置XONOX 4+測量物鏡,*大測量口徑為130mm,曲率半徑測量范圍可達1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用,無需額外配置


詳細技術參數:
 
工作范圍
750mm / 1000mm / 1200mm垂直移動范圍,測量口徑130mm或150mm
激光測量單元
XONOX Z100 4”菲索干涉儀或ZYGO VeriFire XPZ干涉儀主機,6倍光學變焦
測量系統
**測量,數字顯示;小半徑特殊測量裝置(選項)
曲率半徑測量精度
+/-1um(根據所使用的測量系統)
外形尺寸
800X900X1900mm
重量
450Kg
電壓
110V-220V, 50-60Hz;16A
氣壓
6 bar

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