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產品名稱:
白光干涉儀
產品型號:
FRT WLI
產品展商:
德國FRT公司
簡單介紹
白光干涉儀采用白光干涉測量傳感器,其垂直分辨率可達0.1nm詳細技術參數:測量原理:白光干涉測量;測量物鏡10X 20X 50X垂直測量范圍:100um(400um可選)垂直分辨率 0.1nm;X,Y測量范圍:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距離:3.6mm 3.6mm 1.7mm側向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
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白光干涉儀
的詳細介紹 |
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白光干涉儀 
詳細技術參數:
測量原理 白光干涉測量 測量物鏡 10X 20X 50X 垂直測量范圍: 100um(400um可選) 垂直分辨率 0.1nm X,Y測量范圍: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm 工作距離: 3.6mm 3.6mm 1.7mm 側向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
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