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納米表面測量儀


如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 納米表面測量儀
產品型號: MicroProf / MicroGlider
產品展商: 德國FRT公司
簡單介紹
德國FRT測量系統應用于所有類型的表面測量分析。納米表面測量儀采用一個或多個傳感器高精密測量輪廓特征,表面粗糙度,平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光學白光色差傳感器進行非接觸無損傷測量,工作距離大,快速輸出2D或3D測量數據。適合研發和質控領域應用范圍:半導體晶片加工檢測;鈉米刻蝕和操作;MEMS;IC封裝;汽車制造系統;復合材料分析;生物分析磨擦分析;薄膜厚度測量,微細結構分析等。

納米表面測量儀

的詳細介紹

納米表面測量儀     納米表面測量儀

            表面摩擦分析                                             注塑模型腔分析

 

納米表面測量儀使用光學色差傳感器FRT CWL詳細介紹如下:

光學色差傳感器FRT CWL 工作原理和技術數據

      光學色差傳感器(Chromatic sensor FRT CWL)非接觸地測量零件的表面,具有高分辨率和高測量精度。傳感器可以測量所有的表面,與被測零件的反射能力,粗糙度和顏色無關。非常小的測量斑點保證了很高的幾何位置分辨率。采用不同的測量頭,能夠達到納米級的高分辨率和毫米級的測量范圍。測量是同軸進行的,避免了在照明方向和測量方向不一致時產生的光暈現象。

   測量的基本原理是,用白光進行逐點距離測量。聚焦白光照射被測零件表面,傳感器測量反射光線的波長分布,由此測定零件的**高度。由于各種原因產生的光強變化不影響測量,比如不同的材料,劃痕或表面粗糙度。

   色差傳感器的距離測量與傳統的光學測試頭的本質區別是在測量方向無移動部件,無磨損測量。由于跟蹤透鏡的系統擺動而產生的誤差被徹底消除了。

   色差傳感器不僅給測量儀器提供了出色的技術特性,而且堅固結實,非常適合復雜生產環境的特殊要求。被動式的測試頭通過光纖與電子單元連接,可以距離傳感器電子系統數米遠工作。

   FRT CWL 的工作原理是色差距離測量。白光通過測試頭,以不同波長的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光線的光譜,在光譜儀中有一個峰值,由這個峰值波長來確定零件的高度。利用這個原理,傳感器能毫無問題地測量透明的,高反射的,或者黑色的表面。這種測量非常迅速,而且沒有邊緣效應(艾伯哈特效應)。

   色差傳感器有一個LC 顯示器實時顯示測量值,通過功能鍵可以設置傳感器功能。通過RS232 接口與系統連接。

 

 MicroProf 基本型號:

 

MicroProf 100

MicroProf 200

MicroProf 300

MicroProf 600

測量范圍*

100mmX100mm

200mmX200mm

300mmX300mm

600mmX600mm

測量速度

100mm/sec

100mm/sec

100mm/sec

100mm/sec

測量零件高度*

Max. 50mm

Max. 50mm

Max. 50mm

Max. 50mm

測量頭裝置

Heidenhain

Heidenhain

Heidenhain

Heidenhain

 

光電測量編碼器

光電測量編碼器

光電測量編碼器

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工作臺

直線電機驅動

直線電機驅動

直線電機驅動

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儀器結構

花崗巖懸臂結構

花崗巖龍門結構

花崗巖龍門結構

花崗巖龍門結構

注:*----為根據用戶的不同測量要求,進行選擇

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